بعض المشتركة طرق اختبار تسرب الهيليوم في نظام الفراغ يشمل:
1. جهاز كشف التسرب بمطياف الكتلة (MSLD):
تستخدم هذه الطريقة مطياف الكتلة للكشف عن أيونات الهيليوم الخارجة من النظام، مما يتيح الكشف الدقيق عن التسريبات وتحديد موقعها.
2. مسبار الشم:
يتم استخدام مسبار شم مزود بمستشعر حساس للهيليوم لتحديد موقع التسربات عن طريق الكشف عن تسرب غاز الهيليوم من النظام.
3. مسبار رذاذ الهيليوم:
يتم رش الهيليوم على سطح نظام الفراغ، ويتم استخدام مسبار الشم للكشف عن أي هيليوم يتسرب من مناطق التسرب.
4. طريقة غرفة الفراغ:
يتم ضغط حجرة التفريغ بالهيليوم، ويتم فحص النظام بحثًا عن أي تسربات عن طريق مراقبة انحلال الضغط أو باستخدام مسبار الشم.
5. اختبار الفقاعة:
يتم تطبيق محلول يحتوي على مؤشر حساس للهيليوم على مناطق التسرب المشتبه فيها، وأي هيليوم يتسرب يتسبب في تكوين فقاعات، مما يسمح باكتشاف التسربات.
من المهم الرجوع إلى إرشادات ومعايير الصناعة المحددة لتحديد الطريقة الأكثر ملاءمة لنظام التفريغ الخاص بك. اتصل بنا